超高純凈膜片式瓶閥是針對半導體行業(yè)研究開發(fā)的新產品。英國專利技術，專為超高純氣體鋼瓶而設計，能有效杜絕泄漏，確保氣體純凈。

特性：

• 有手動和氣動兩種形式可選，二者基于同一母體設計
• 適用于大多數特種氣體，包括各種濃度的氧氣和高腐蝕性氣體（如氯氣和氯化氫等各種流體）
• 在符合超高純標準的潔凈廠房內生產制造，10等級潔凈室裝配、測試
• 經由氦氣質譜儀100%泄漏測試
• 一體式無焊接結構膜片，有效將氣體和運動機械部件隔離，延長使用壽命
• 閥座的特殊支撐和緊固設計，可以將高壓負載下閥座的變形量和背壓條件下閥座的提升量減至 小
• 氣體流道中午任何滑動、旋轉及摩擦部件，杜絕污染
• 進氣口喇叭型設計，增強氣體流通，便于清潔和吹掃凈化
• 進出氣口使用所有行業(yè)標準
• 執(zhí)行器能夠被鎖定在關閉位置，防止運輸過程中因震動而引發(fā)泄漏
• 適用常規(guī)閥門保護管帽
• 出氣口采用鏈條式管帽密封，有效避免管帽遺失
• 雙重密封閥門結構，安全可靠

技術說明：

• 工作壓力：3300 psig （230 bar ）
• 適用氣體：工業(yè)和特種氣體 （包括有毒氣體、腐蝕氣體和氧氣）
• 孔徑：4mm
• 工作溫度：-20°C ~ 65°C （-4°F ~ 150°F）
• 閥體泄漏率：小于1x10^-9 mbar l/s （200 bar He）
• 閥座泄漏率：小于1x10^-8 mbar l/s （200 bar He）
• CV：0.3

結構材料 ：

• 母體：316L VAR （ Hastelloy^®, Monel^® 可選）
• 閥座：PTCFE, Kynar^®, Vespel^®, Zytel^®
• 膜片：Elgiloy^®
  
  閥門氣體流道內無任何潤滑。閥座選用氣體相容性 的材料，保證氣體的純度。如有任何關于材料的問題，請聯系捷銳公司。

執(zhí)行器說明 ：

• 常閉設計的氣動執(zhí)行器通用于所有的鋼瓶閥。在驅動氣源供氣時閥門打開，在彈簧的作用下閥門關閉旋轉閥套可以將閥門鎖定在關閉位置
• 驅動壓力：70 ~ 120 psig （5 ~ 8 bar）
• 驅動介質：空氣或氮氣
• 進氣接口：1/8” NPT
• 結構材料：不銹鋼，鎳鋁青銅和高硬度陽極化鋁合金

訂購指南：